淺談激光干涉儀在不同領(lǐng)域的應(yīng)用
點擊次數(shù)：1652 更新時間：2019-09-27
淺談激光干涉儀在不同領(lǐng)域的應(yīng)用
激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一，它以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
未來，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進(jìn)行發(fā)展，從測量數(shù)據(jù)的可靠性、性，以及測量儀器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。
下面簡要介紹一下激光干涉儀在幾個領(lǐng)域的應(yīng)用情況。
1、數(shù)控機床檢定中的應(yīng)用
隨著數(shù)控機床應(yīng)用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前*的、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應(yīng)用多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)，位置精度是機床的重要指標(biāo)，目前各國機床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。
2、位移傳感器
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢，其特點是測量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與激光干涉儀對定位移進(jìn)行測試對比，得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。
